Seminar INFLPR
Vineri, 07.07.2017 ora 10:30
Laboratorul PTJ – 260, Sala de seminar a INCDFM
Contractul nr.: 4N/2016
Proiectul: PN 16 47 01 01, „Cercetari avansate asupra materiei aflata in conditii extreme”
Faza nr. 13: „Studii de diagnostică a plasmelor utilizate pentru mentenanţa componentelor optice şi evidentierea efectelor de modificare morfologică şi compoziţională produse asupra unor suprafeţe de test contaminate intenţionat”
Termen:15.05.2017
Responsabil faza: Dr. G. DINESCU
Prezinta: Dr. C. STANCU
Rezumat: Pentru a evidentia efectele produse de plasmele de radiofrecventa generate la presiune joasa asupra suprafetelor contaminate au fost depuse pe siliciu, ca straturi contaminante, filme subtiri de a-C:H. Suprafetele acoperite cu a-C:H au fost expuse in plasme de radiofrecventa generate la presiuni joase in argon. Experimentele au urmarit testarea eficientei de curatare a doua surse de plasma diferite: sursa cu electrod central de putere si sursa cu electrozi circulari exteriori.
Pe suprafetele acoperite cu a-C:H au fost realizate masuratori de elipsometrie, profilometrie si AFM atat inainte cat si dupa expunerea lor in plasma. Din masuratori rezulta faptul ca suprafețele expuse in plasma se curata in urma expunerii lor in plasma, rugozitatea acestora scade si reflectivitatea creste. S-au obtinut rate de curatare a straturilor de a-C:H cuprinse intre 5,3*10-1 nm/min si 1,46 nm/min in cazul sursei cu electrod de putere central si intre 0 si 2,16 nm/min in cazul sursei cu electrozi exteriori.
Raport de faza la proiectul NUCLEU.
