Seminar INFLPR, Miercuri, 4 Octombrie 2017 ora 10:00, Laboratorul PTJ, Dr. Corneliu Porosnicu: "Realizarea structurilor tribologice cu continut de carbon obtinute prin metode de magnetron reactiv/TVA – studiu comparativ"

INFLPR Seminar

Wednesday, 4 October 2017, 10:00 am

Low Temperature Plasma Laboratory, NIMP Seminar Room

Contract number: 4N/2016

Project 2: PN 16 47 01 02, "Synthesis, processing and characterization of micro- and nanostructures and nanomaterials produced by laser techniques, plasma or radiation"

Phase no. 23: "Realizarea structurilor tribologice cu continut de carbon obtinute prin metode de magnetron reactiv/TVA – studiu comparativ"

Deadline: 15.08.2017

Responsible: Dr. Ionut Jepu

Lecturer: Dr. Corneliu Porosnicu

Abstract: In cadrul prezentei faze au fost obtinute cu success straturi de SiC depuse simultan prin metoda TVA precum si structuri ce au in compozitia lor pe langa Si si C incluziuni gazoase de N obtinute prin pulverizare reactiva de tip magnetron in regim HiPIMS. Au fost efectuate studii comparative pe cele doua structuri de interes. Imaginile SEM obtinute au relevat o morfologie redusa a suprafetei precum si o lipsa de imperfectiuni pentru cele doua structuri de interes. Analizele in sectiune SEM au indicat o crestere compacta a filmelor depuse atat prin TVA cat si prin r-HiPIMS subliniind importanta bombardamentului cu ioni din cele doua tipuri de plasme. Analiza TDS a confirmat prezenta N in structura de SiCN. Desorbtia N incepe la temperaturi de 200^oC si continua sa creasca pana cand temperatura finala este atinsa. Un alt aspect demn de mentionat este legat de sincronizarea spectrului N cu cel al O, ceea ce implica fie ca N actioneaza ca bariera de desorptie fie cele doua elemente sunt legate chimic. Analizele RBS au confirmat prezenta azotului in toata grosimea structurii de SiCN. De asemenea atat structura SiC cat si SiCN prezinta contaminari ridicate cu oxigen 10% at. Au fost observate pentru probele depuse prin HiPIMS o distributie cvasiuniforma a Si si C in structura SiCN. In urma masuratorilor tribologice, coeficientul de frecare pentru ambele tipuri de structuri a variat intre 0.15 si 0.25. Imaginile SEM obtinute pe urmele de uzura au evidentiat o exfoliere pentru ambele tipuri de structuri. In ciuda acestui fapt ambele structuri prezinta proprietati tribologice benefice datorita formarii unui contact tribologic de tip carbura-carbura ideal pentru lubrifiere in regim uscat.