Metoda de operare in regim jet de plasma de temperatura joasa a unei surse de clusteri bazata pe pulverizare magnetron si agregare in gaz

Publication type: 
Patent
Authors: 
ACSENTE TOMY, DINESCU GHEORGHE
Year: 
2019

Patent data

OSIM no.: 
A/00870 / 05.12.2019

Cerere de brevet de invenție