Procedeu de obtinere a filmelor de ZnO cu suprafata specifica mare pentru senzor de umiditate cu unde acustice de suprafata (SUAS)

Publication type: 
Patent
Autori: 
D. Miu, I. Constantinoiu, C. Enache, C. Viespe
Anul: 
2022

Patent data

OSIM no.: 
A/3932/2022