Seminar INFLPR, Joi, 11 Iulie 2019, ora 10:00, Laboratorul FPFN, Dr. Tomy Acsente: Optimizarea procesului MSGA (pulverizare magnetron şi agregare în flux de gaz) în vederea controlului dimensiunii nanoparticulelor de W şi a stabilizării ratei de depunere

Seminar INFLPR

Joi, 11 Iulie 2019, ora 10:00

Laboratorul FPFN-220, sala de seminar a INFM

Contractul nr. 16N /2019

Proiectul: "Cercetări emergente de laseri, plasmă, radiaţii şi aplicaţiile lor în domeniile de specializare inteligentă şi interes public"

Faza nr. 9: "Optimizarea procesului MSGA (pulverizare magnetron şi agregare în flux de gaz) în vederea controlului dimensiunii nanoparticulelor de W şi a stabilizării ratei de depunere"

Termen: 14.06.2019

Responsabil fază: Dr. Tomy Acsente

Prezintă: Dr. Tomy Acsente

Rezumat: În cadrul INFLPR (Laboratorul Plasmă de Temperatură Joasă, grupul Procese în Plasmă pentru Materiale Funcţionale şi Suprafeţe) a fost implementat în anii precedenţi un sistem experimental pentru producerea nanoparticulelor de W folosind o metodă bazată pe plasmă: împraştiere magnetron şi condensarea vaporilor metalici în flux de gaz inert (MSGA). Operarea sursei de nanoparticule de tip MSGA în Ar pentru producerea nanoparticulelor de W are un dezavantaj major: rata de sinteză a nanoparticulelor scade la zero într-un interval finit de timp (maxim 30 minute), limitând cantitatea de nanoparticule produse într-o şarjă de depunere. În urma studiilor efectuate în această etapă s-a implementat o metodă experimentală prin care se elimină acest dezavantaj. Metoda are la bază introducerea intenţionată şi controlată a unui gaz (H_2 ) în descărcarea magnetron pe lângă gazul principal de lucru (Ar), pentru a stimula procesul de nucleaţie al nanoparticulelor de W. Această procedură experimentală asigură o rată de depunere constantă în timp a nanoparticulelor. În plus, se păstreaza caracterul metalic al nanoparticulelor sintetizate. Tot în această etapă de proiect a fost efectuat un studiu parametric al procesului de sinteză al nanoparticulelor de W. În timpul studiului au fost produse mostre de nanoparticule care au fost investigate prin microscopie electronică SEM, în vederea determinării distribuţiei dimensiunilor nanoparticulelor pe fiecare probă. În urma investigaţiilor a fost stabilită o corelaţie între parametrii consideraţi şi dimensiunile nanoparticulelor sintetizate. În acest mod s-a stabilit o modalitate de control eficientă a dimensiunii nanoparticulelor prin modificarea adecvată a unui parametru experimental (presiunea în sursă MSGA) şi/sau a unuia constructiv (diametrul duzei de extractive a sursei MSGA).