Echipament pentru depunere de straturi subtiri din precursori gazosi folosind plasma de arc electric cu catod cald

Publication type: 
Patent
Autori: 
G.Musa, C. Surdu-Bob
Number of authors: 
2
Anul: 
2009

Patent data

OSIM no.: 
OSIM, Hotararea nr.6/95 din 28.08.2009